一键式全自动快速椭偏仪

一键式全自动快速椭偏仪仪器简介：新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。  

一键式全自动快速椭偏仪仪器简介  

新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。  

一键式全自动快速椭偏仪技术参数  

·光谱范围：450-1000nm  

·多种微光斑自动选择  

·光斑可视技术，可观测任何样品表面  

·CCD探测器  

·自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节;Z轴高度>35mm  

·70度角入射  

主要特点  

·完全自动化设计，一键式操作，直接报告输出  

·液晶调制技术，测量光路中无运动部件  

·CCD探测系统，快速全谱输出  

·多个微光斑尺寸选择，可视技术  

·封闭式样品仓  

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