高温四探针测试仪

高温四探针测量系统

●HEST-600，该系统可以测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻 以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻，该设备按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M 标准而设计的。

●采用由四端测量方法测试电阻率系统与高温试验箱为一体的专用的高温测试系统，满足半导体及导体材料因温度变化对电阻值变化的 测量要求，通以在高温 、真空、气氛的条件下测量导电材料电阻和电阻率，可以分析被测样的电阻和电阻率随温度、 时间变化的曲 线． 目前主要针对圆片、方块、长条等样品进行测试，可以广泛用于碳系导电材料、 金属系导电材料、 金属氧化物系导电材料、结 构型高分子导电材料、复合导电材料等材料的电阻率测量。 过先进的测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲 线。

?仪器特点：

1、可以测量高温、真空、气氛下薄膜方块电阻和薄层电阻率；

2、软件、触摸屏、高温炉等集成于一体，可以进行可视化操作；

3、可实现纯净气氛条件下的测量；同时保证探针在高温下不氧化；

4、采用labview软件开发，操控性、兼容性好、方便升级；

5、可自动调节样品测试电压，探针和薄膜接触闪络现象；

6、控温和测温采用同一个传感器，保证样品每次采集的温度都是样品实际温度；

7、可配套使用Keithley2400或2600数字多用表；

http://www.huaceyq.cn/SonList-1480048.html
http://www.chem17.com/st253720/erlist_1480048.html