陶瓷喷雾干燥机

氧化铌薄膜由于独特的物理和化学性质被广泛地用于光学干涉滤波器、电化色薄膜和气体传感器中。
它光学波导损耗小，对紫外有较强的吸收，可作紫外敏感材料的保护膜，是一种具有优异光学性能的材料。它也是性能优良的电致变色材料，它的电致变色性能可与获得广泛研究的WO3的性能相媲美，而且氧化铌与氧化镍也能组成性能匹配的互补性电致变色玻璃。
氧化铌薄膜高折射率、大光学带隙、高化学稳定性和抗腐蚀性等性能使得其被广泛的运用于生产生活中。
目前制备氧化铌薄膜的方法主要有电子束蒸发、离子束反应溅射法、反应磁控溅射法和溶胶凝胶法等。不同的沉积方法和制备过程参数对制备薄膜的结构、形貌和光学质量等有很大影响。
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