Omega扫描方法的原理如图1.所示, 在测量过程中晶体绕轴线旋转，该系统的参考轴旋转速度恒定。X射线光管以及接收反射光束的探测器处于设置位置。X射线光束被倾斜于旋转轴的晶格面反射两次，这些反射发生于倾斜的几何晶面间。反射光束的角度可以由垂直于旋转轴线(Omega circle)与晶体平面的夹角得出。初级光束的入射角选择相应的范围，并且检测器前的掩模要定位准确，以便获得足够多数目晶格面的反射光束。确保至少两晶格平面的反射光束必须能被探测。这样对称轴及其附近旋转轴的晶体取向，会随着角度的变换，对称或相同的反射信号信息将会被采集（图2），整个测量只需要几秒钟时间。取向测量是测量宏观表面和内部晶体点阵坐标系的相互几何关系。可以利用相关晶系坐标计算晶格取向的反射角度，此外，还要测量omega方位任何点阵方向上投影的方位角（各晶面对应的衍射角度）。
这种方法测试是在晶体物象已知，各晶面族对应的衍射角度能查出。而衍射角度偏差几度，甚至是10度，
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